产品介绍

M12 热压设备(Hot bar机)
加热方式
脉冲
机台压头数量
12组
机台尺寸(mm)
长 1300 x 寬 1500 x 高 2000
UPH
1800

M6P 热压设备(Hot bar机)
加热方式
脉冲
机台压头数量
6组
机台尺寸(mm)
长 700 x 寬 1000 x 高 1850
UPH
900

M4 热压设备(Hot bar机)
加热方式
脉冲
机台压头数量
4组
机台尺寸(mm)
长 1400 x 寬 1200 x 高 1850
UPH
600

M2 热压设备(Hot bar机)
加热方式
脉冲
机台压头数量
2组
机台尺寸(mm)
长 850 x 寬 1050 x 高 1900
UPH
300

M4UM 移载设备(下料机)
UPH
600
特色
流线不中断
载盘尺寸(mm)
长 102 x 寬 60 x 高 12
堆叠方式
伺服带动弹匣
机台工站数量
2
机台尺寸(mm)
长 900 x 寬 1200 x 高 1850

B4T-S 多轨道输送热压设备(Hot bar机)
加热方式
脉冲
机台压头数量
4组
机台尺寸(mm)
长 1200+600 x 寬 1200 x 高 2000
UPH
300

M6R 热压设备(Hot bar机)+AOI系統
加热方式
脉冲
机台压头数量
6组
机台尺寸(mm)
长 1200x 寬 1200 x 高 2000
UPH
900

P2 半自动热压设备(Hot bar机)
加热方式
脉冲
机台压头数量
1组
机台尺寸(mm)
长 840 x 寬 800 x 高 1250
UPH
200

W1 半自动热压设备(Hot bar机)
加热方式
脉冲
机台压头数量
1组
机台尺寸(mm)
长 640 x 寬 540 x 高 710
UPH
150

C1 脉冲加热模组(可搭配各厂设备应用)
加热方式
脉冲
模组型式选择
上下 & 左右
机台压头数量
2 pcs.
压头尺寸(mm)
MAX:30 x 3 或 MAX:80 x 3
恒温温度精度
均溫可控在±3℃內
可支援 MES 通信协议(需另付费)
模组尺寸(mm)
250 x 340 x 250

P1-L ACF 贴附设备
加热方式
脉冲
机台压头数量
1组
机台尺寸(mm)
长 1000 x 寬 1100 x 高 1700

PA-1000 FOB / FOF 贴片设备
加热方式
恒温
机台压头数量
3组
机台尺寸(mm)
长 1500 x 寬 2000 x 高 2000
UPH
1200

Standard Model

SWC3008

General Specification

(表格内容可透过左右拖移 )

规格		内容
Tool Name		ASTRON (Single Wafer Cleaner)
Model		SWC3008	SWC3012	SWC3016
No. of Chamber		8	12	16
Max. Throughput (wf/hr)		480	User Spec.	User Spec.
Dimension (mm)	Width	2,230	2,300	2,300
	Length	2,165	2,760	2,760
	Height	3,150	2,450	3,150
Usage		Cleaning & Etching
Wafer Size		300mm (200mm Option)
No. of Loadport		3 or 4
FA		OHT, AGV
Chemical		Acid, Alkali, IPA, Hot DIW, DIW
Robots		2 for EFEM & Main (MTR)
Chemical Injection		Front & Backside together
Dry		IPA liquid + N2
Options		Megasonic, Nanospray
Uniformity		5%